空氣彈簧減振器技術(shù)領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)

技術(shù)領(lǐng)域

本產(chǎn)品歸屬于高精密減振技術(shù)領(lǐng)域，關(guān)鍵涉及到一種共面汽浮正交和解耦和軟性膜角解耦的磁懸零彎曲剛度彈簧減振器。

環(huán)境技術(shù)性

[0002]伴隨著超精密機(jī)械加工和測(cè)量精度的不斷提升，自然環(huán)境震動(dòng)早已成為了牽制超精密機(jī)械加工專(zhuān)用設(shè)備和檢測(cè)儀器精密度和特性提升的主要要素。尤其是以步進(jìn)電機(jī)掃描儀光刻技術(shù)為象征的集成電路工藝電子器件生產(chǎn)設(shè)備，技術(shù)性抗壓強(qiáng)度和復(fù)雜性極高，空氣彈簧重要性能指標(biāo)做到了原有工藝的極限，意味著了超精密機(jī)械加工的較高水準(zhǔn)機(jī)器設(shè)備。空氣彈簧高精密減振已變成此類(lèi)機(jī)器設(shè)備的關(guān)鍵核心技術(shù)；步進(jìn)電機(jī)掃描儀光刻技術(shù)線距已做到22nm及下列，圓晶精度等級(jí)和疊合精密度做到數(shù)納米技術(shù)，產(chǎn)品工件臺(tái)健身運(yùn)動(dòng)速率做到lm/s以上，產(chǎn)品工件臺(tái)瞬時(shí)速度做到重力加速度的幾十倍，對(duì)原有的空氣彈簧震動(dòng)明確提出了新的挑戰(zhàn)隔離技術(shù)。最先，光刻技術(shù)必須為計(jì)量檢定系統(tǒng)軟件和光刻技術(shù)測(cè)微目鏡給予“超靜音模式”的辦公環(huán)境，與此同時(shí)還必須推動(dòng)產(chǎn)品工件操作臺(tái)快速、高瞬時(shí)速度挪動(dòng)，這對(duì)空氣彈簧減振系統(tǒng)軟件的減振特性明確提出了極為嚴(yán)苛的規(guī)定。三個(gè)方位的共振頻率都必須在1Hz下列；次之，光刻技術(shù)各組件間的相對(duì)位置，如光刻技術(shù)測(cè)微目鏡與單晶硅片表層的間距，都是有十分嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?guī)定，處在關(guān)閉的部位環(huán)中。在意見(jiàn)反饋?zhàn)詣?dòng)控制系統(tǒng)的操縱下，規(guī)定彈簧減振器左右安裝板中間的相對(duì)位置精密度做到10μm數(shù)量級(jí)，而傳統(tǒng)化的彈簧減振器精度等級(jí)遠(yuǎn)遠(yuǎn)地不可以符合要求。